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旋转涂布机无刷式,不会造成无尘室污染

 更新时间:2022-12-05 点击量:456
   旋转涂布机为高精度数码控制器的匀胶旋涂仪,非常方便设定速度和加速度程序段,适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺。还可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
  
  采用的高速涂布头,能有效降低气泡的产生,配置全速自动接膜机构,张力闭环自动控制。与普通的上胶涂布机相比有其的优点。在逆转辊涂布过程中,如果两辊间隙比较小,毛细准数足够低,也就是在黏度或速度比较小情况下,在比较宽的速度比率范围内的的流动比较稳定,能得到比较好的涂布表观质量。如果间隙比较大,在涂布速度较高时,就容易出现空气夹带,在涂层表面有许多微小气泡。
  
  功能特点:
  1、采用AC伺服电动机:
  2、无刷式,不会造成无尘室污染。
  3、减少电动机发热,也减少因连续使用时的温度上升造成封膜厚再现性的影响。
  4、电力消费低,减低环境的负担。
  5、扩张程式功能:
  6、Z多有100阶段程式、可记忆10中模式,更容易使用。
  7、机型皆标准配备数位式真空计
  8、方形基板等可设定停止时位置,超方便:
  9、安全装置机构(真空压及盖子)
  10、由于薄膜或晶圆容易破裂,而降低吸附压力时,可以变更安全装置机构(真空)的稼动压力。
  
  旋转涂布机在运行过程中常会出现传动部位磨损的问题,如涂布机烘缸轴头磨损、卷纸辊轴承室磨损等。传统的修复方法有堆焊、热喷涂、电刷镀等,不干胶复合涂布机也都存在一定的弊端:堆焊会使零件表面达到很高温度,造成变形或裂纹,严重时还会导致轴的断裂;电镀镀层不能太厚,且污染严重,应用也受到了限制。

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